紫外線検出器とは赤外線や可視光線に応答せず、紫外線のみに応答する検出器です。紫外線が表面改質や洗浄、殺菌、化学物質の合成・分解など様々な分野での利用が進む中、光源の安定利用のためにも紫外線検出器は欠かせない存在となっています。しかし、これまでの紫外線検出器では可視光線にも応答してしまうため、これを遮るフィルターが用いられていました。本研究室ではフィルターが不要な紫外線検出器の開発を行っています。これにより検出器の小型化や低コスト化、安定性の向上が見込まれます。またそれぞれのフッ化物より応答波長が異なるため、用途に応じて材料を選択することで目的とする波長のみに応答する検出器を作製することが可能となります。
検出原理は、光を照射した際に受光媒質中に電子が生じる光電効果という現象を利用しています。フッ化物薄膜上に正負の電極を蒸着し、電極間に電位差を設けておきます。光を照射すると、フッ化物薄膜中で光電効果により電子が生じて電流が流れます。この電流を検出することで紫外線が照射されたことを検知することができます。
現在、NdF3薄膜を用いることで波長が200 nm以下の真空紫外線の検出に成功しています（図１）。